我区实现全省重点实验室“零突破”
全省高性能硅材料装备重点实验室成功落地
本报讯 (记者 冯楠 通讯员 张晓蓉) 近日,浙江省科技厅公布2023年第二批全省重点实验室认定结果,绍兴全市共有3家获得认定。由浙江晶盛机电股份有限公司和上虞半导体材料研究中心共建的“全省高性能硅材料装备重点实验室”位列其中,标志着我区全省重点实验室建设实现“零突破”。
据了解,全省重点实验室对标全国重点实验室,主要聚焦“互联网+”、生命健康、新材料三大科创高地,致力推动跨单位跨部门力量整合,同时也吸引研究方向相近的科研机构、企业等为共建单位。
全省高性能硅材料装备重点实验室将系统整合平台资源,发挥人才优势,以“前沿技术研究创新-重大关键技术攻关-硅材料装备工艺验证及产业化”为运行模式,面向国家集成电路产业新质生产力发展的重大战略需求,重点围绕集成电路用晶体生长、磨削、抛光等硅材料设备关键技术开展研究与突破,加速低缺陷、高平坦度先进制程用硅片的国产替代,推动半导体行业的“快”“精”“准”靶向飞速发展。
全面激发内驱力,让企业成为强大创新主体。晶盛机电自2006年创办以来,坚持以“打造半导体材料装备领先企业,发展绿色智能高科技制造产业”为使命,逐步确立了“先进材料+先进装备”双引擎可持续发展的战略定位,形成了“装备+材料”协同发展的良性产业布局。公司目前拥有国家博士后科研工作站、国家企业技术中心及省重点企业研究院、省工程研究中心等科研平台10个,荣获省科技进步一等奖2项,“全自动单晶硅生长炉”入选工业和信息化部第三批制造业单项冠军产品。
就地打造高能级平台,培育壮大新质生产力。上虞半导体材料研究中心是浙江大学与我区在深化共建浙江大学-上虞半导体材料联合创新中心的基础上,支持建设的高能级新型研发机构。中心依托浙江大学硅及先进半导体材料全国重点实验室的技术成果和创新能力,紧密结合国内半导体产业发展规划和国际前沿技术,围绕半导体晶硅材料、半导体新型材料、半导体配套材料和半导体检测分析等四个核心模块,建设“人才引育+科技创新+产业转化”功能架构模式,解决国家在该领域的“卡脖子”技术难题,实践科技成果转化,推动半导体材料产业高端产品的开发、生产、技术服务与转化应用。
“从科技供给端与需求端双向发力,强化有组织科研,实现从‘自由生长’向主动布局定向培育转变,从‘在干什么、能干什么’向‘该干什么、干成什么’转变。”区科技局相关负责人介绍。为改变目前“个体户式”科研的做法,全省重点实验室突出强化实体化建设,建设期为3年,鼓励实验室主任、核心团队成员全职或全时在实验室开展工作,组建交叉性、综合性、“大兵团作战”的科研攻关团队。建设期满后,由省科技厅组织考核,考核优秀者,将优先获得全国重点实验室和省级以上科技计划项目的申报支持。