12英寸碳化硅

　　衬底全线国产

　　9月26日，首条12英寸碳化硅衬底加工中试线在浙江晶盛机电股份有限公司旗下企业浙江晶瑞电子材料有限公司正式通线。至此，晶瑞实现晶体生长、加工至检测环节的全线设备自主研发，亦标志着晶盛在全球碳化硅（SiC）衬底技术竞争格局中从“并跑”迈向“领跑”，为第三代半导体产业高效智造奠定关键基础。

　　记者 冯楠 通讯员 梁松 摄