半导体生长
设备再添劲旅
晶盛机电全自动金刚石
生长炉成功研发
本报讯 (记者 冯楠 通讯员 梁松) 日前,浙江晶盛机电股份有限公司全自动MPCVD法生长金刚石设备在历经半年多工艺测试后,成功生长出高品质宝石级的金刚石晶体。这标志着晶盛机电在继推出硅、蓝宝石、碳化硅等半导体材料生长设备之后再添一支劲旅。
金刚石晶体又称钻石,是碳化硅、氮化镓之后具有代表性的新一代半导体材料,被誉为“终极半导体”材料,广泛应用在国防、工业、科技、医疗等各个领域。
据了解,MPCVD方法生长金刚石晶体具有速度较快,质量好,尺寸大等优点。但已有的传统MPCVD培育钻石生长技术也有其明显痛点,即对多晶及生长裂纹等缺陷的判断,晶体温度和生长厚度等关键生长参数的控制均依赖人工,从而使得金刚石晶体培育在保持稳定质量和规模化生产中遭遇瓶颈。晶盛机电聚焦痛点攻坚克难,目前不仅单次可实现20颗以上4-5克拉毛坯钻石的生产能力,且设备稳定性好,综合生长良率高,为大规模量产提供了自动化操作基础。另值一提的是,当前全自动金刚石生长炉业已完成设备定型和批量工艺开发,即将投放市场。